肥美的韭菜提示您:看后求收藏(第二十一章 真空镀膜(下),我有科研辅助系统,肥美的韭菜,po18书屋),接着再看更方便。

请关闭浏览器的阅读/畅读/小说模式并且关闭广告屏蔽过滤功能,避免出现内容无法显示或者段落错乱。

空气泵发出一声巨响,随后传来“咣咣咣”的声响。

许秋吓的一激灵,朝后缩了一下身子。

等了一会儿,他感觉没什么危险,便上前检查空气泵。

“看着没有问题啊。”他向学姐道。

“确实没问题,这是正常情况。现在是发动机在通过曲轴,驱动活塞向储气筒内打气,等到储满气后,就会自动停下。”

陈婉清试图绷住脸上的笑容,但是没有成功,还是笑了出来。

“学姐你是故意的吧。”许秋做出一副愤慨的样子。

“怎么会呢,我是那样的人嘛。”陈婉清笑道。

许秋摇了摇头,回到总控台,继续实验。

他打开总控开关,膜厚仪的数显屏幕亮起。

许秋先检查膜厚仪的参数是否设置正确,包括靶材名称、密度和Z因数等。

膜厚仪的原理并不是直接测量膜厚,而是通过间接法计算得到。

在蒸镀过程中,靶材分子到达晶振片处,会产生电信号,经过拟合计算可将电信号转化为蒸镀速率,最后将速率与时间相乘得到膜厚。

调好膜厚仪后,数显屏幕上显示:

蒸镀材料为钙,速率为0.00埃每秒,膜厚为0.00埃。

同时,许秋观察到总控台上面有两个气压计,可以实时监测蒸镀舱内的压强。

其中一个示数为一个大气压,即1.0E5帕,另外一个则处于未工作状态。

“为什么要安装两个气压计呢?”许秋疑惑道。

“两者的压强测定范围不同,前者约为0.1到10000帕,后者约为十的负六次方到1帕。”陈婉清道,随后又补了一句:

“准备工作都好了,开始抽真空吧。”

许秋点点头,按下机械泵的启动键,同时打开超真空挡板阀,又是一阵轰鸣声传来。

“蒸镀操作的噪音有点大啊。”习惯了之前安静实验环境的许秋,忍不住吐槽道。

“是啊,不过慢慢你就会适应的。”陈婉清道。

机械泵启动后,气压计的示数快速减小。

从1.0E5,迅速变为3.2E4,然后是8.9E3,直至1E3帕左右,下降速度才开始变慢。

过了两分钟左右,压强终于降至20帕以下,许秋关闭超真空挡板阀,打开分子泵。

分子泵的转速要从0逐渐加速至27000r.p.m.后,它才可以正常工作,约需要耗时10分钟。

待分子泵运转平稳后,许秋打开束源炉挡板,然后启动束源炉升温数控装置。

装置的屏幕上显示有束源炉当前温度和设定温度,分别为27和30摄氏度。

他打开设定界面。

这块屏幕采用的是计算器上那种“日”字型的显示方法,主要用于数字显示,所以显示出来的字母都很抽象。

还好都是常用的单词,许秋花了点时间弄明白每个参数的意义后,手动设定升温程序:

SP1 30

RATE 30

TIME 60

SP2 400

RATE 30

TIME 3

SP3 520

RATE 20

TIME 100

第一阶段,以30摄氏度每分钟的速率升至30摄氏度,等待60分钟;

第二阶段,以30摄氏度每分钟的速率升至400摄氏度,等待3分钟;

第三阶段,以20摄氏度每分钟的速率升至520摄氏度,等待100分钟。

确认无误后,他长按启动键,启动程序。

升温程序需要跑一个多小时。

在此期间,许秋向学姐请教了真空系统的工作原理。

陈婉清讲解道:“机械泵,最多只能将舱内压强降至零点几帕,必须使用分子泵才能将压强降低至十的负五次方帕这个数量级,从而达到蒸镀实验所需的最低真空度要求。

分子泵只能在低压强下使用。所以在压强大于20帕时,采用超真空挡板阀,阻隔分子泵和蒸镀舱连接;当压力低于20帕时将其关闭,再使分子泵和蒸镀舱连通。

分子泵启动后,还需要较长的时间,才能使蒸镀舱内压强达到1E-5级别。

这个时间在半小时至一个半小时之间。

如果一个半小时过后仍无法达到这个真空度,通常有两种情况。

一种是体系气密性不好,比如在关舱门时,门缝处夹了一个塑料膜;

另一种是舱体内蒸镀残留物过多,需要清理。”

虽然系统里也有影像资料供许秋学习,但他觉得还是听学姐讲解更舒服一些。

而且两个人站一起一直不互动也蛮尴尬的。

……

一小时后。

真空计示数达到5.2E-5帕,升温程序也进入第二阶段,一切正常。

十二分钟后。

温度示数达到400摄氏度,膜厚仪显示的实时蒸镀速率,在-0.01至0.01埃每秒之间波动,膜厚显示仍为0.00埃。

三分钟后。

温度示数继续增加,直至480摄氏度左右,蒸镀速率开始在0.00至0.03埃每秒之间波动。

当温度达到520摄氏度后,蒸镀速率维持在0.20至0.30埃每秒。

许秋先开启样品台旋转,在等待了约十秒钟后,同时打开样品挡板并将膜厚仪的膜厚计数器归零。

钙要蒸镀10纳米的厚度,也就是100埃。

待膜厚仪示数达到100埃时,许秋迅速关闭样品挡板。

随后,他将束源炉升温数控装置关闭,让束源炉自然降温。

最后,将膜厚仪的参数改为铝的参数。

半小时后。

束源炉的温度降低至77摄氏度。

许秋关闭钙的束源炉挡板,打开电流加热装置。

这个加热装置很简单,就是把电源、钨篓、电位器(类似于滑动变阻器)、保险丝、电流计连在一起,通过调节电位器,便可以改变电路中的电流大小。

许秋缓慢扭动电位器的旋钮,使电流计示数从0逐渐增加至18安培。

当电流达到16安培时,膜厚仪上蒸镀速率开始有了示数。

电流达到18安培后,许秋等待了几秒,然后同时打开样品挡板并清零膜厚仪的膜厚计数器。

蒸镀速率则先是从0.2、0.3迅速提升至3.0,随后迅速回落至1.8,之后缓缓下降至1.7,1.6埃每秒……

电流计的示数也会随着时间变化,忽上忽下。

每当其相较于18的偏离值超过1时,许秋就将其调至18。

铝的厚度要求是100纳米,也就是1000埃。

待膜厚仪示数达到1000埃时,许秋迅速按下样品挡板。

然后缓缓扭动电位器,将电流归零。

接着关闭超真空挡板阀,停止分子泵。

等待十分钟后,分子泵转速从27000r.p.m.降至0,关闭其开关。

最后,关闭机械泵,关闭总控台。

…………

“终于结束啦!”许秋长吁了一口气,感慨道。

“这么多操作,居然零失误,厉害呀!”陈婉清竖起了大拇指。

“这都是学姐教的好。”许秋道。

“行啦,别谦虚了,你的科研天赋我心里有数呢。

想想我当初学蒸镀,可是没少让魏老师头疼,不是忘记开空气泵,就是忘开挡板,甚至还有一次忘记放基片了。”陈婉清道。

听到最后一句,许秋没忍住笑了出来,然后看到学姐睁着大眼睛瞪着他,他赶紧把笑容收敛住,面色严肃的向手套箱走去。

他进入手套箱,旋开舱门上下的旋钮,开始拉舱门。

咦,舱门怎么拉不下来?

琢磨了一会儿,许秋懂了,因为蒸镀结束后,舱体内部还是真空状态。

于是他转头看学姐,可她似乎并没有主动解答的意思,还是瞪着他。

“这么记仇啊。”许秋心想。

他只好问道:“学姐,这个怎么弄?”

陈婉清指了指手套箱侧面,最后还是告诉了许秋:

“那边有一个接通氮气瓶的阀门,可以往蒸镀舱内充氮气。”

许秋走过去,果然发现一个阀门。

他轻轻旋开阀门,“嘶嘶”的气流声传来。

10秒后。

20秒后。

30秒后。

没什么动静啊。

“学姐,什么时候停下来呢?”许秋忍不住问道。

“继续放气。”陈婉清面无表情道。

“哦。”

40秒后。

50秒后。

60秒后,正当许秋打算再次发问时。

“砰!”

本章未完,点击下一页继续阅读。

其他类型小说相关阅读More+

女子监狱的男狱警

红唇含刀

御龙剑仙

老黄

傅沉寒小说

花重

萧尘夏诗韵

傲才

奇幻穿越男主可没那么好混

黑火公爵

十万份穿越后回归

我的小泰迪