第三百五十一章 投影式光刻技术

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晚上十二点，整个江夏电子厂的大部分车间都已经黑漆漆一片，只有值夜班的保卫科人员，在打着手电筒来回巡逻。

然而只在芯片车间所在的西北角，这里仍然灯火通明，那为了避免干扰光刻而独有的黄光，代表里面仍然处于紧张的工作状态，那黄澄澄如同雾蒙蒙一般的光晕，似乎也预示着光刻作为顶尖精密制造的神秘。

车间办公室里，总工程师张本松和一众工程师都围坐在桌前开会。

“的确这种投影式光刻机对比之前的接触式光刻机提高了相当大精度，而且采用凹透镜和凸透镜相结合的高斯型镜头，也能消除大部分场曲和像差。”

“除此之外还有光掩模的制作，以及烘焙刻蚀这些，也基本和接触式光刻步骤一样，不需要我们额外掌握，甚至于由于光掩模无需再直接接触光刻胶，烘焙的精度也变得不那么重要，这是我们的优势。”

“但同时我们也必须注意到，由于接触改投影，我们也面????????????????临光刻方面的新问题，首当其冲的就是光衍射问题……”

还是那个最烦人的原理，光不是沿一条直线传播，而是具有波粒二象性，尤其在通过窄缝以后，这种衍射现象更加严重。

“虽然经过今天一天的测试，以及和江夏电子厂的同志，还有远在宁海的同志交流以后，对我们有很大的启发，我们也收获了相当不错的成果，但这还远远不够，我希望大家明天能再接再厉，早日攻克投影式光刻技术！”

张本松看了一眼墙上的时钟，然后告诉大家今天时间已经很晚，示意大家都回去休息：“我知道大家都很为技术着急，但攻克技术并不是一朝一夕的事，身体才是革.命的本钱，大家都休息好了，才能以更加饱满的状态迎接新的挑战！”

总结完然后散会，一众技术工人和工程师们先行离开，张本松留在最后。

有人劝张本松也先去休息，但张本松却总是笑着表示：“我就差最后一点没记录完，这种事情可不能拖，你们先回去休息吧，我记录完就休息。”

张本松继续埋头，虽说他的右手经过医院的诊治已经好的差不多了，但仍然不好握笔，因此影响他记录工作。

很快一个小时过去，当张本松完成对今天工作的记录，他却没有离开办公室去休息，而是走向芯片车间，撕下自己记录的那张纸贴在洁净室外面的玻璃上。

这是张本松他们的常规操作，由于要确保洁净室内的绝对干净，因此就连纸张他们也避免带进去，但同时他们又需要根据自己的运算做出调整，只好从外面贴在玻璃上，将玻璃当成提示板用了。

熟练的取出一张打磨好的硅晶圆，按照步骤清洗涂胶烘焙。

尽管这些都是从接触式光刻沿用下来的步骤，张本松都做过好几十次，但他仍然小心翼翼，确保每一步都准确无误。

很快三个小时过去，当张本松带着隔热手套从烤箱里取出烘焙好的硅晶圆时，就听洁净室的玻璃杯轻轻敲响，张本松转头就看到几张熟悉的脸孔，那是自己手底下学习最认真的工程师和技术工人。

为了避免说话飞沫污染洁净室，张本松打手势询问他们怎么这么早就来了，现在天亮了吗？

外面的工程师写字条高速张本松现在才只凌晨四点，他们是因为睡不着才想着过来车间再做一遍测试，好为白天收集更多的数据。

张本松想喊他们回去休息，可伸出洁净室，手上还拿着硅片，他没办法，只好指了指自己粘在玻璃上的纸条，反正这些人来都来了，就让他们进来帮帮忙吧。

张本松走到门口告诉他们自己认为提高投影式光刻的精度跟控制光照时间和光刻次数有关。

“虽说光刻就像照相一样瞬间就能完成，但并不意味着光刻就整体完成，他可能存在光刻不到位的问题，可如果我们提高光照时间和次数，可能又会带来新的衍射以及过度曝光等问题，我们现在就是要????????????????找到最适合的工艺因子。”

用嘴简单的话语讲解了自己的想法，然后张本松才放其他工程师进来，他们把烘焙好的硅片固定在光刻机上，然后启动光刻，按照张本松的想法进行反复曝光。

这一次他们失败了，硅片在经过刻蚀以后张本松发现在进行了过度曝光后，光刻胶受到很大影响，导致不该被光刻的地方也受到了衍射曝光。

早上方焕志亲自为他们送来早餐，见张本松他们居然一晚上没睡，方焕志严厉批评了张本松。

“你应该知道厂里的制度，我也再三强调你必须休息，你这么经常性熬夜，如果你倒下了，咱南园电子厂的技术攻关还能由谁来主持？你这不仅是对自己的不负责任，更是对厂子发展的不负责任！”

张本松表示虚心接受方焕志的批评，但在早餐结束后，他马上又主持了技术会议。

在会议上，张本松表示尽管这次测试失败了，但他们也并非是完全没有收获，根据最后对硅片的分析表明他们的方向是对的。

“反复曝光的确能有效增加光刻的精准度，接下来我们的任务就是慢慢测试次数和曝光强度以及曝光时长等等，我们要进入更加枯燥反复的测试了。”

等会议结束，方焕志马上拦住所有人，揪出昨晚上没睡觉的张本松一行人，要求他们马上回宿舍休息。

张本松可不干，他表示自己都已经摸到门槛，马上就能搞定投影式光刻了，这时候他可不能下火线。

方焕志却表示他都知道了，接下来都是反复的测试工作：“这些工作任何工人都能完成，难道你张本松还不信任自己带出来的兵吗？到时候你休息好了查看他们的数据就是了。”

最终在方焕志的要求下，张本松和其他几个熬夜了的工程师们都被强制送回宿舍休息了，哪怕其他几个工程师反复解释他们并没有熬夜，只是凌晨四点钟来的也没用，方焕志本着宁杀错不放过的原则不予理会。

郑南事后得知也支持方焕志的做法：“人才才是芯片工作的重中之重，我们现在是需要掌握投影式光刻的技术要点，但并不意味着我们就要竭泽而渔孤注一掷，我们未来还有渐进式和步进式光刻机，我们还需要这些技术出众的工程师们。”

只是尽管郑南和方焕志这边都意见统一，要求张本松他们好好休息，但张本松他们却摆出一副将在外君命有所不受的架势，反正都到了晚上，也没人监督，他们自然继续通宵测试了。

开始的时候，张本松还在夜间总结会议结束后把其他人赶回去休息，他自己留下来测试。

原本其他人也都是先回去休息，到了三四点再过来。

可每次都看到张本松通宵熬夜，后来其他有追求的工程师们和技术工人也干脆不休息，陪着张本松一起熬夜测试了。

方焕志开始知道这个消息也很愤怒，揪着张本松狠狠批评了一番，还晓之以情动之以理的跟????????????????他解释正常作息的必要性。

张本松也是嘴上答应的好好的，可到了晚上他还是该熬夜熬夜。

方焕志没办法，也不可能真每天晚上蹲守车间把张本松抓回宿舍休息，就算真这么做了，也没法保证他们会不会回去休息一两个小时再跑来车间做测试。

方焕志后来也想明白了，干脆不管他晚上怎么折腾，白天抓到就让他回去休息，虽说这么做还是昼夜颠倒，但总算能保证了这些工程师们的基本休息时间。

当然张本松这些人的拼命是有回报的，就在三天以后，张本松兴冲冲的向方焕志汇报：“我们终于成功了！投影式光刻技术，虽然现在良品率还只有30%，但这已经是对接触式光刻技术质的突破，未来可期，未来可期呀！”

郑南也很高兴，他带着李兴等一众江夏电子厂干部亲临芯片车间，看着张本松他们在洁净室里通过投影式光刻机造出了芯片，并且这一次的运气很好，良品率达到了前所未有的45%。

郑南用力握紧拳头：“这说明你们已经基本掌握了技术，而且30%的良品率已经高过了接触式光刻，接下来你们要做的，就是继续熟练和优化他。”

随后郑南就在车间的办公室里给李兴他们做出工作调整。

首先是技术升级：“既然他们已经掌握了投影式光刻技术，那我们也没必要再守着那台接触式光刻机了，尽管他们是我们重启光刻机研制的第一台机器，但现在我们也要给他改造成投影式光刻机！”

李兴他们对此虽然有些不舍，但还是表示自己会坚定执行命令，现在还是以技术升级为先。

其次是市场销售，郑南告诉老厂长，让他可以对黄品超和赵文和松口了。

“这段时间的压抑相信他们也吃到了足够的教训，现在我们的芯片产量提高，我们有能力生产更多学习机，就可以敞开供应了。”

老厂长点头表示知道怎么做了。