第263章 工艺最高达到了45nm

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首次商谈合作并没有成功。

但合作的心，左锋是有的。

因为于歆然说得也不错，虽然在技术之上，艾尔的平衡车也不错，质量控制也很好，但在这个时间段，市场是非常小众的。

赛格被收购之后，显然有了更多的资金去研发新的平衡车。

而大米的一向做法，就是性价格。

说不定，到时候，又来一个元的平衡车，那真的是日了狗了。

真的不要一点儿利润了吗

因此，左锋的话也没有说死，双方友好散场，于歆然则是表示将让张菁继续跟进谈判。

商场的事情，就是这样，很多时候不可能那么顺心顺意，一下子就收购了，或是投资了，需要慢慢地洽谈。

将张菁等人打发回了京都，于歆然带着林云往魔都而去。

江成，可是在那儿待了好些天了呢。

新婚刚小别，很是想念了。

---づ?ど---

此时，在魔都微的江成在整机研发上又忙活了五六天。

科宇光源的激光器，虽然还没有非常完善，但基本上能够发出n的准分子激光，这个部件，在副总江磊的带领下，初步整了下，已经发到了魔都微电子。

而长春光机所的物镜系统也已经运输到了。

现如今，江成正带着光刻机研发主管连广浩一众工程师进行集中装配和验证。

如果只是他们，那估计装配都是一个问题，但是江成在，他们就感觉做事顺畅了许多。

任何部件，应该装配哪里，各类系统的连接线路，要怎么布局，在江成的心头，都有着数，让大家有不懂的、有疑问的，江成一说就好。

昏黄的灯光下，江成等人穿着无尘服，开始了刚刚装配完成的样机实验。

这是第一个样机，更多是作为整机装配试验和验证功能用。

“双工件台的控制系统没问题了吧”看着眼前这个庞然大物，江成也是心头激荡不已。

控制系统的工程师抬手比了一个ok。

这个系统，在双工件台年初到公司之后，就一直在开发试验，整机装配期间也不断完善，以适应全新的部件。

江成看向连广浩，“行，咱们开机试试。”

连广浩握着拳头，紧张兮兮的开了机。

通电之后，边上简陋的控制台屏幕慢慢启动着。

整个机子，虽然没有漂亮的外观，但基本的部件是全了。

七八个人守着，按照各自的分工安排，记录着数据情况。

每一块部件、系统的功能，都需要保证能正常使用。

试验人员拿着两块寸的晶圆放了上去，设备操作师开始了操作。

光刻过程中，需要人工的地方很少。

在此之前，在旋涂机中已经旋涂了光刻胶，软烘后就等着光刻曝光了。

激光通过激发，透过光罩，将上面的图形照射后进入了物镜，而后投射在了晶圆上面的光刻胶上。

因为还是整机初步测试，江成并没有把浸没系统加上。

光刻胶对深紫外线光非常敏感，照射后产生光分解反应，形成“沟壑”，而后通过显影、烘干等操作，就可以进行刻蚀了。

试验的是一个简单的测试电路图形，在控制系统下，双工件台快速而又轻微的移动着，一块一块的曝光。

一张寸的晶圆，根据芯片die的尺寸不同，能够光刻不同数量的芯片。

就如现在试验的，可以切出将近枚。

很快，在光罩上的图案光刻好了。

试验人员取出晶圆，进行显影、烘干、刻蚀。

期间还需要用掉不少的超纯水，用这些水，把晶圆上的杂质给清洗干净。

有些无聊的光刻流程，但又是真的非常的神奇。

通过光刻，将图案刻在了晶圆上，几十纳米线宽，不通过显微镜，根本看不到。

而后再通过操作，让铜等金属在刻蚀的区域外延生长，做成了纳米级的电路。

小小的一个芯片中，密密麻麻的布着电路。

三个小时后，试验的晶圆好了，在此前每个步骤都有人员测试参数，这会儿更是开始了详细测试和验证。

“……工艺最高达到了n！”虽然是蒙着嘴，但连广浩看着这检测仪器上的参数，兴奋的跳了起来！

这还是干式光刻呢，如果通过浸没式的光刻呢，是不是能够突破n了

甚至通过多次曝光，达到更高的工艺！

连广浩这一句话，让场上的人顿时欢呼了起来！

“真的吗我们居然成功了！”

“天啊，咱们搞出来了！”

“江董牛逼！”

……

江成摇头笑笑，这些小伙子，还是太年轻了，他刚也看了（顺带模拟了），发现只是很少部分栅极的最小线宽达到了n，而且极不均匀。

这里头，既有光刻工艺还不纯熟，也有可能后续的一些工艺流程还有缺陷。

不过，这会儿，大家都在兴奋之中，他们已经忙活了大半年了，有这么一个好消息刺激刺激他们也好。

“这是一个巨大的进步，离我们的浸没式光刻机又近了一步。”江成开口道，“不过，大家也别放松了，咱们还有很多要改进的地方。”江成提醒道。

不仅如此，浸没式光刻，也不是那么容易的。

除了超纯水，还需要配套的工艺技术。

这一块，需要起耳机电的工程师一起来协助。

而他们，还需要过几天才能抽调人过来。

另外，现在是研发试验阶段，超纯水这些，购买就可以了。但真正的生产线，需要大批量生产的，那需要的超纯水就多了，还得配上循环的超纯水制备、储存设备呢！

这一块，技术在日国等国家手里。

连广浩开心道，“明白，江董，在您带领下，我们相信，再有一两个月，咱们一定可以把浸没式光刻机搞出来！”

“嗯，有信心就好。现在都快下班了，大伙把数据整理收集好，另外，保密要求，相关试验的情况、数据参数，不能外传。”江成最后提醒道。

“知道的。”

“明白！”

听到下班的消息，大伙松了口气，一致的回了句，这才开始离去。

江成再细细的看了下，随后出了无尘车间。

换了衣服后，江成拿到了自己的手机。

手机之上，有着于歆然的两个未接电话。

“喂，歆然”

“江成，你忙好啦”电话那头，于歆然的声音非常开心。

“是，刚从实验室里出来呢。你呢，在忙啥”

“我呀，你先猜猜我在哪”于歆然笑着道。

江成愣了下，“你来魔都了”

“嗯嗯！”于歆然满怀欣喜地点点头应道，随后声音小了下来，“我想你了……”

……